AG88环亚国际,

高精度制版及複制

      
       微纳光学中精细的结构构成对制版提出了极为严格的需求,与此同时,不同形貌、不同特征尺寸、材料等,也对制版工艺提出了不同的要求。AG88环亚国际光电拥有国际一流的制版设备与工艺,可以满足多种高精度制版与母版加工处理要求。AG88环亚国际光电可以为客户提供多样的母版定制服务:
       ① 尺寸方面:从几平方mm的试样到标准6寸、8寸、12寸盘;
       ② 材料方面:提供硅片、SOI、玻璃、石英、聚合物等多种材料;
       ③工艺方面:根据客户的精度、时间、成本要求,提供电子束、刻蚀、激光直写、大规模集成电路工艺等多种选择,实现从10nm特征尺寸到数百um,从单层结构到多层(8层、16层等)到连续形貌复杂结构。
       根据客户的后道工序,AG88环亚国际光电也可以提供客制的母版处理服务,包括母版溅射、母版转金属版(如镍板)、以及母版防粘(基于AG88环亚国际独有的工艺,可以为母版生成<1nm的防粘层,完美保型,让下道纳米压印ready-to-go)等。 AG88环亚国际光电可以为客户提供的制版工艺包括:


  •           电子束加工
    1. 电子束(eBeam)加工技术,采用电磁场将电子束聚焦成微细束照射至电子抗蚀剂上,由于电子束可以方便的由电磁场进行偏转扫描,复杂的图形可以直接写到感光胶上而无须使用掩膜板。与其他光刻技术相比,电子束光刻的优点非常明显: 首先,电子束光刻分辨率高,可达几十纳米,如直接进行刻蚀可达到几个纳米。其次,电子束光刻不需要掩膜板,非常灵活,很适合小面积、打样、工艺验证等特殊期间的生产。

    2. 通過電子束技術,AG88环亚国际光電可以爲客戶提供分辨率極高(幾十納米)的母版加工。綜合考慮電子束技術的精度、時間消耗、成本等因素,AG88环亚国际通常運用電子束工藝爲客戶進行打樣服務,可以在很短的交貨期,高效的驗證設計,多次叠代。

  •           离子束加工
    1. 离子束光刻分为聚焦离子束曝光(FIB)、掩膜离子束光刻(MIB)和离子束溅射光刻(IBP)。离子束光刻利用离子源进行曝光。其发射面积极小,可以较容易的利用离子光学系统将发射离子聚焦成微细离子束,进行高分辨率离子束曝光。聚焦离子束曝光与电子束曝光相比有一些突出的优点:1) 邻近效应可忽略, 因离子比电子重的多。电子质量极轻,在抗蚀剂中的散射范围大,影响邻近电路形的曝光质量;2)感光胶对离子束的灵敏度要比电子束高数百倍。但聚焦离子束曝光也有一些弱点:1) 分辨率比电子束低, 因为离子束中的离子能量分散,使聚焦受到限制:2) 离子质量大,在光刻胶中的曝光深度较小。

    2. 通過離子束技術,AG88环亚国际光電可以爲客戶提供精細光柵、特殊齒形光柵母版的加工。具體加工要求,敬請來電垂詢。
  •           激光直写
    1. 激光直寫是利用強度可變的激光束對基片表面的抗蝕材料實施變劑量曝光,顯影後在抗蝕層表面形成所要求的浮雕輪廓。激光直寫系統的基本工作原理是由計算機控制高精度激光束掃描,在光刻膠上直接曝光寫出圖形,進而把圖形直接轉移到掩模上。
    2. AG88环亚国际光電擁有國際最先進、最高精度的激光直寫光刻線。通過激光直寫,以及與其他工藝的有機結合(如VLSI工藝),AG88环亚国际光電可以實現大面積2D高精度掩模版加工、多台階二維光柵加工、高深寬比的球面與非球面陣列、複眼透鏡等3D微納形貌的加工。
  •           单点金刚石加工
    1. 單點金剛石加工技術是用精密數控車床和天然單晶體金剛石作刀具,在計算機控制下進行加工。由于金剛石的硬度高,耐磨性強,導熱性優越,因此,金剛石刀具的刃口可以非常鋒利(刃口半徑可以小于0.05微米甚至更小)。
    2. 單點金剛石加工適用于光學透鏡類、自由曲面、以及大尺度(>100微米)的球面與非球面陣列加工。
  •           超大规模集成电路加工
    1. VLSI是半导体产业的基石。伴随半导体需求、技术的发展,VLSI工艺的发展达到了极高的水平。商用的光刻线宽可以比较容易的实现几十纳米的范围。与此    同时,VLSI技术可以带来极高的产能与稳定性。
    2. 基于股東資源與戰略資源,AG88环亚国际光電擁有穩固的VLSI協作通道。AG88环亚国际光電與國際、國內主要的Fab都有著緊密的合作,而且在特定Fab線擁有獨立定制的機台,以滿足客戶特殊的制造工藝與要求。通過AG88环亚国际光電的VLSI通道,AG88环亚国际可以爲客戶提供6寸、8寸、12寸等主流光刻服務,線寬範圍從幾十納米到幾百納米。同時通過多次光罩,可以實現多台階設計實現(如4到32台階DOE)。除了常規的矽版制造,基于AG88环亚国际光電獨特的工藝和專有的産線,AG88环亚国际也可以爲客戶提供純石英晶圓和藍寶石晶圓的光刻刻蝕。